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用等离子体沉积法生长的纳米硅膜及其物性
用等离子体沉积法生长的纳米硅膜及其物性
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovezhizunbaolove
【摘 要】
:
介绍了纳米硅膜的PECVD生长方法,样品的结构特征和结构参数的测量方法,根据现有的实验数据,讨论了给米硅样品的电学性质和光学性质,简要评述了内米硅研究的方向和进一步所要做的工作。
【作 者】
:
韦亚一
郑国珍
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1994年11期
【关键词】
:
等离子体沉积法
硅膜
纳米
特性
参数
测量
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介绍了纳米硅膜的PECVD生长方法,样品的结构特征和结构参数的测量方法,根据现有的实验数据,讨论了给米硅样品的电学性质和光学性质,简要评述了内米硅研究的方向和进一步所要做的工作。
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