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阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理，并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟．采用硅基微纳机械加工工艺，将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上，实现器件制作．对加热电阻进行温度标定，得到了加热电阻与温度间二次关系曲线．在此基础上对器件进行微秒级瞬态电热特性分析和测试，测试结果与理论计算结果和有限元模拟结果都有较好的吻合．测试结果表明在4V脉冲电压下，加热时间为3us时，针尖温度达到463．15K，相应的加热电阻的降温时间常数为6．2us，数据写入速度达到近百kHz．悬臂梁上的压阻