Nanosensitive Silicon Microprobes for Mechanical Detection and Measurements

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户:wang3398218
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Nanosensitive mechanical microprobes with CMOS transistors, inverters, inverters cascades and ring oscillators, integrated on the thin silicon cantilevers are presented. Mechanical stress shifts linear, steep switching fragment of the inverters’ electrica
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