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ＣｕＯ－ＺｎＯ异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器，它有成本低，工艺简单、检测方便等众多优点，本工作主要研究了ＣｕＯ和ＺｎＯ不同比例情况下，该传感器的气敏性能。测试了它的阻温特性及在不同温度，不同气氛条件下器件的灵敏度，并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论。
CuO—ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究
【摘 要】
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ＣｕＯ－ＺｎＯ异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器，它有成本低，工艺简单、检测方便等众多优点，本工作主要研究了ＣｕＯ和ＺｎＯ不同比例情况下，该传感器的气敏性能。测试了它的阻温特性及在不同温度，不
【机 构】
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西安电子科技大学技术物理学院
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2000年4期
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