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期刊论文
IGBT器件和相关制备工艺技术评述
IGBT器件和相关制备工艺技术评述
来源 :电力电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chengyo
【摘 要】
:
为了提高IGBT器件性能,根据相关资料和针对器件的重要特性参数,本文介绍和评估各类或称各代IGBT器件结构的变革和参数的优化,以及为其实现而可能采用的制备工艺与技术。
【作 者】
:
许平
【机 构】
:
清华大学微电子技术研究所
【出 处】
:
电力电子
【发表日期】
:
2010年2期
【关键词】
:
IGBT
制备工艺技术
大功率器件
IGBT Preparation technique High power devices
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为了提高IGBT器件性能,根据相关资料和针对器件的重要特性参数,本文介绍和评估各类或称各代IGBT器件结构的变革和参数的优化,以及为其实现而可能采用的制备工艺与技术。
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