【摘 要】
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随着大规模集成电路、大功率器件、高灵敏探测器……的发展,人们对硅材料的质量提出了高要求.根据常规的电学测量方法,只能得到载流子的浓度,不能测出杂质的种类以及补偿度.
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随着大规模集成电路、大功率器件、高灵敏探测器……的发展,人们对硅材料的质量提出了高要求.根据常规的电学测量方法,只能得到载流子的浓度,不能测出杂质的种类以及补偿度.硅中重金属元素以及氧、氮、碳等杂质的测量目前虽已有了成熟的测试方
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