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同时沉积铬硅的热力学计算
同时沉积铬硅的热力学计算
来源 :材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cbbbb
【摘 要】
:
用Solgasmix-PV软件包对沉积反应进行热力学计算。结果表明,用原位CVD方法、采用三元卤化物活化剂,在热力学上可以同时沉积铬硅,并且渗源中的铬硅比例按12/1配置可以获得理想的渗层。
【作 者】
:
郭伟明
【机 构】
:
北京航空航天大学
【出 处】
:
材料工程
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
热力学计算
同时沉积
铬
硅
沉积
thermodynamic calculation codeposition of Cr and Si halide act
【基金项目】
:
航空基金资助
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用Solgasmix-PV软件包对沉积反应进行热力学计算。结果表明,用原位CVD方法、采用三元卤化物活化剂,在热力学上可以同时沉积铬硅,并且渗源中的铬硅比例按12/1配置可以获得理想的渗层。
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