【摘 要】
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为深入研究压电驱动器的输入一输出特性曲线，建立了压电驱动器的机电动力学模型，画出了机电模型的信号流图，解释了压电驱动器产生非线性滞环现象的成因；研发了压电式二维微动平台
【机 构】
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国防科学技术大学机电工程与自动化学院,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金联合资助项目“电荷反馈式压电陶瓷精密定位平台及非线性控制技术”(10376043)
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为深入研究压电驱动器的输入一输出特性曲线，建立了压电驱动器的机电动力学模型，画出了机电模型的信号流图，解释了压电驱动器产生非线性滞环现象的成因；研发了压电式二维微动平台和电荷反馈式驱动电源，对模型及其预测结果进行了实验验证。理论分析与实验数据表明，压电驱动器外部电荷反馈回路的作用与正压电效应所形成的内部电荷反馈回路的作用是一致的．
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