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设计、模拟了一款用于多频振动的MEMS复合式能量采集器，提出了一种新颖的能量采集结构，即将压电式悬臂梁和可变电容器结合起来用于多频振动能量的采集。在建立多频振动能量采集系统分析模型的基础上，使用MatLab／SIMULINK的数值模拟，预测了功率输出。模拟结果显示，该结构可在630～655Hz有效工作，在负载为50kQ时，输出功率可达13．46μw。基于这个结果，给出了一个优化设计方案，同时为了防止结构失效，对结构进行了有限元仿真分析。仿真分析结果显示了良好的预期性能，说明了该设计指导思想的合理性和先进性