【摘 要】
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一、前言目前,国内使用的高精度测长机的示值误差是(0.06+L/103)μm~(0.12+L/103)μm(L单位为mm),这些测长机由于准确度高、价格昂贵,在国家、国防及军工系统各研究院受到普
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一、前言目前,国内使用的高精度测长机的示值误差是(0.06+L/103)μm~(0.12+L/103)μm(L单位为mm),这些测长机由于准确度高、价格昂贵,在国家、国防及军工系统各研究院受到普遍重视。高精度测长机在检测高精度量规、工件时,由“测长机-被测件-环境”测量系统引入的热效应问题,越
I. INTRODUCTION Currently, the indication error of the high accuracy measuring machine used in China is (0.06 + L / 103) μm ~ (0.12 + L / 103) μm (L unit is mm). Due to the high accuracy of these length measuring machines, , Are expensive and have gained universal attention in various institutes of national, defense and military systems. High-precision measuring machine in the detection of high-precision gauges, artifacts, by the “measuring machine - DUT - Environment ” measurement system to introduce the thermal effects of the problem, the more
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