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含氟的锗富集物的利用，由于氟对玻璃，搪瓷设备的腐蚀以及影响锗的分离，受到了很大限制，作者根据物料中氟存在的不同状态，摸索出用专用试剂，使物料中氟“激活”得易用硼酸将其除去，然后再使“钝”化的锗“活化”，以提高四氮化锗的回收率。用这种综合处理法，可使难处理的含氟固体锗富集物，氯化蒸馏ＧｅＣｌ４的回收率达９１％以上，并彻底消除了对搪瓷反应釜的腐蚀。