异质结材料及其表面金属膜的俄歇能谱研究

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本文阐述主要使用AES研究单层或多层InP/InGaAsP异质结材料的界面,发现晶格失配会引起组分缓变。另外也分析了各种不同温度下的欧姆接触,观察到各金属之间及金属/半导体界面上的相互扩散情况。更多还原
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