【摘 要】
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研究采用光纤激光器对CVD金刚石薄膜表面进行V型沟槽微加工,设计出3种不同截面的微沟槽结构,并分析了脉宽和扫描频次等不同工艺参数对此类微沟槽微观结构的影响规律。研究结
【基金项目】
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国家自然科学基金(51275096);广东省自然科学基金(2015A030313491)
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研究采用光纤激光器对CVD金刚石薄膜表面进行V型沟槽微加工,设计出3种不同截面的微沟槽结构,并分析了脉宽和扫描频次等不同工艺参数对此类微沟槽微观结构的影响规律。研究结果表明:光纤激光加工出的3种V型沟槽微结构与所设计的结构基本一致;V型沟槽宽度与沟槽宽度设计有关,即使增加脉宽,三种V型沟槽都在扫描频次到达5次后槽宽都会饱和;而V型沟槽深度则与设计V型沟槽截面形状、激光扫描频次次数和脉宽有关,对称型截面的沟槽深度比非对称要深,脉宽越大,激光刻蚀反应越激烈,沟槽深度越深,扫描频次次数越多,沟槽深度越深。
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