【摘 要】
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针对射频微机电系统（RFMEMS）开关工作时因介质充电而发生“粘连”失效的问题，提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式，使RFMEMS开关在工作时介质层不存在电势差，从根源
【机 构】
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太原师范学院管理系,太原理工大学信息工程学院
【基金项目】
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国家自然科学青年基金资助项目(51505324);山西省国际科技合作计划项目(2013—036)
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针对射频微机电系统（RFMEMS）开关工作时因介质充电而发生“粘连”失效的问题，提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式，使RFMEMS开关在工作时介质层不存在电势差，从根源上消除介质充电。通过COMSOL仿真软件，分析了静电斥力的产生机理，重点探究了静电斥力驱动结构中尺寸参数对可动极板位移的影响，并通过结构优化有效降低了驱动电压，为开关后续设计提供了参考。
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