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应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并讨论了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一百分比工了可以作为力传感器设计的依据和原则。
用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究
【摘 要】
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应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并讨论了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一百分比工了可以作为力传
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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