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通过正交试验确认了导致LTCC（低温共烧陶瓷）基板砂轮划片背面崩边的主要因素，基于对各个主要因素的分析，优化了砂轮划片方案，有效地解决了背面崩边问题，获得了高质量的划片效果。
LTCC基板砂轮划片工艺研究
【摘 要】
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通过正交试验确认了导致LTCC（低温共烧陶瓷）基板砂轮划片背面崩边的主要因素，基于对各个主要因素的分析，优化了砂轮划片方案，有效地解决了背面崩边问题，获得了高质量的划片效果。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十九研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2014年1期
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