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本文介绍空气等效法α测厚仪、X 射线荧光测厚仪和 X 射线膜厚分布测量仪的测量原理和特点,并列出了部分测量结果。
放射性同位素薄层厚度测量仪
【摘 要】
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本文介绍空气等效法α测厚仪、X 射线荧光测厚仪和 X 射线膜厚分布测量仪的测量原理和特点,并列出了部分测量结果。
【出 处】
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无损检测
【发表日期】
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1983年03期
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