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制备了注入能量为３５０ｋｅＶ，注入剂量为１×１０＾１２－１×１０＾１５ｉｏｎ／ｃｍ＾２的Ｅｒ＾３＋离子注入多孔硅样品。测定了退火后ＰＳ：Ｅｒ＾３＋的样吕的７７Ｋ红外光致发光光谱。
多孔硅中的Er^3+离子发光增强
【摘 要】
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制备了注入能量为３５０ｋｅＶ，注入剂量为１×１０＾１２－１×１０＾１５ｉｏｎ／ｃｍ＾２的Ｅｒ＾３＋离子注入多孔硅样品。测定了退火后ＰＳ：Ｅｒ＾３＋的样吕的７７Ｋ红外光致发光光谱。
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院长春物理研究所
【出 处】
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硅酸盐学报
【发表日期】
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1996年3期
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