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薄膜技术作为材料制备的一种新技术，在现代科技领域中有着广泛应用。人们对薄膜的沉积机理通过理论和实验进行了比较深入的研究，其中计算机模拟变得日趋重要。主要阐述目前薄膜沉积机理的计算机模型：LG模型、Eden模型、DLA模型及RLA模型，相应计算机模拟技术的发展以及面临的问题和发展方向。
薄膜沉积机理的计算机模拟应用和发展
【摘 要】
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薄膜技术作为材料制备的一种新技术，在现代科技领域中有着广泛应用。人们对薄膜的沉积机理通过理论和实验进行了比较深入的研究，其中计算机模拟变得日趋重要。主要阐述目前薄膜
【机 构】
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昆明理工大学材料与冶金工程学院,昆明贵金属研究所
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2003年F09期
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