集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践

来源 :山东化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haizhi19841029
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
国内高端电子级多晶硅长期被国外垄断,理论研究和产业化实现都与国外存在差距,严重威胁了集成电路行业的安全发展.江苏鑫华半导体通过在超痕量杂质提纯技术、非接触硅料精制技术等瓶颈问题的突破,成功构建了5000 t/a电子级多晶硅生产体系,在高等级硅料产品实现、新工艺体系构建、高效产品评价等方面填补国内空白,达到了国际领军企业的同等水平.本文通过分析客户质量需求,深入认识了硅料产品关键参数指标,指出了制约高端电子级多晶硅的技术瓶颈和解决思路.
其他文献
针对0Cr13Ni8Mo2Al不锈钢试验件,研究了不同的切削加工表面质量和钝化工艺对于钝化膜表面形貌结构、化学组成和耐腐蚀性能的影响.表面粗糙时钝化膜表面凹凸不平、犁沟较深、并存在微裂纹,较深的犁沟含有较高的P、S元素,是钝化膜易发生腐蚀的薄弱区.对不同温度制备的钝化膜进行电化学测试和盐水浸泡测试,结果表明,合适的表面钝化温度为30℃,并探讨分析了钝化膜层的失效机制.
采用苯酚-硫酸法测定 β-葡聚糖凝胶敷料中 β-葡聚糖的含量.检测波长为485 nm,β-葡聚糖在0.1~0.9 mg/mL范围内呈良好的线性关系,y=0.0734x-0.00956,r=0.996,平均回收率为95.8%,RSD为2.3%.结果表明,采用苯酚-硫酸法测定β-葡聚糖凝胶敷料中β-葡聚糖简便准确.
探索分析化学实验教学绿色化对于培养学生的环保意识和创新能力具有重要意义.本文以“铁含量测定”这一实验项目为例,从绿色试剂替代重金属及有毒试剂出发,探讨了实验教学绿色化的可行性.结果表明,采用抗坏血酸做还原剂结合分光光度法测定铁含量不仅可以替代有毒试剂、降低试剂消耗,而且适用于固体和液体样品;新方案稳定性和重现性好,适用于分析化学实验教学.
燃煤烟气中二氧化硫(SO2)、一氧化氮(NO)和汞(Hg)的大量排放已经造成严重的环境污染,影响人体健康.光催化技术是一种高级氧化技术,广泛应用于处理大气污染中的多种有害气体.基于光催化氧化技术对二氧化硫、一氧化氮和汞具有良好的脱除效果,本文综述了光催化氧化机理及光催化脱硫脱硝、光催化脱汞和同时脱硫脱硝脱汞技术的研究进展,对未来光催化技术的发展方向提出自己的见解,旨在为促进燃煤烟气脱硫脱硝脱汞技术的发展提供参考.
目的:HPLC法测定利伐沙班片的体外溶出.方法:采用《中国药典》2020年版溶出度测定第二法,以2 mg/mL十二烷基硫酸钠(SDS)的pH值4.5醋酸盐缓冲液900 mL为溶出介质,转速75 r/min,溶出时间为15 min.使用HPLC法对溶出样品检测,采用Agilent Poroshell EC-C18色谱柱(50 mm×4.6 mm,2.7μm);流动相:0.1%磷酸水溶液-乙腈(73︰27,体积比);流速:1.0 mL/min;检测波长:250 nm;柱温:50℃;进样量:10μL.结果:本方
青海察尔汗盆地地处西北内陆,气候炎热干燥,日照时间长,水份蒸发量远远高于降水量,再加上该地区地势低洼,地下水循环不畅,便形成了高盐地下水.测定察尔汗地区地下水中化学需氧量时,水样中氯离子极易被氧化剂氧化,会增加氧化剂的消耗,使得测定结果偏高,加入硫酸汞做掩蔽剂,可以消除低含量氯离子对测定结果的影响,但对于察尔汗地区地下水,作用不大,因此,尝试用总有机碳测定仪测定察尔汗地区地下水中的化学需氧量,经过实验发现,总有机碳测定仪法测定察尔汗地区地下水中化学需氧量时,可以排除氯离子对检测结果的严重干扰,测定结果准确
在不同的反应中,要选择不同的指示剂.比如氢氧化钠的测定选择酚酞指示剂,碳酸钠的测定却选择溴甲酚绿-甲基红指示剂.同样为碱,为何氢氧化钠的测定要选择pH值为8.0~9.6的酚酞指示剂,而碳酸钠的测定却要选择pH值为5.0~5.2的溴甲酚绿-甲基红指示剂?通过实验与计算,对这些现象做了分析.
复配食品膨松剂中的铝元素污染是目前食品产品中铝元素超标的主要原因之一.本文建立了微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定复配食品膨松剂中铝的含量.该方法前处理简便、灵敏度高、精密度好,检出限为0.0081 mg/kg,定量限为0.027 mg/kg,可以满足日常检测需求.
结合国内外相关法规和指南,探讨了分析方法转移的法规要求、前提条件、操作流程,论述了分析方法转移在制药企业中的应用场景,提出药企未来进行分析方法转移的趋势是研发在QC的GMP实验室开展共同验证,既可满足数据完整性要求,又符合GMP要求,同时缩短分析方法转移的时间,为制药企业内部研发部门向生产系统转移提供了新的思路.
原料预处理装置随着国际原料油市场态势给装置的适应能力带来巨大挑战,本文针对行业产业链发展需求,以及炼化企业计划后续二次加工装置的原料供应需要,故对装置加工原油适应性、加工能力及能耗进行了研究应用后,发现由原装置加工能力350万t/a提升到420万t/a,装置能耗12.546 kg标油/t原油降低到8.25 kg标油/t原油,明显改善了原料油对生产装置的冲击力.