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钼粉形貌对溅射靶材微观组织的影响
钼粉形貌对溅射靶材微观组织的影响
来源 :中国钼业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sidney1221
【摘 要】
:
选用两种不同形貌的钼粉,经过压制、烧结、轧制、退火得到靶材产品,通过对金相组织的分析,得出颗粒大小均匀、无团聚的钼粉制备出的靶材组织较好,且大变形量有利于得到细小的
【作 者】
:
李晶
安耿
刘仁智
【机 构】
:
金堆城钼业股份有限公司技术中心
【出 处】
:
中国钼业
【发表日期】
:
2014年01期
【关键词】
:
钼粉
溅射靶材
微观组织
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选用两种不同形貌的钼粉,经过压制、烧结、轧制、退火得到靶材产品,通过对金相组织的分析,得出颗粒大小均匀、无团聚的钼粉制备出的靶材组织较好,且大变形量有利于得到细小的组织结构。
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