NCG冷阴极规管

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuw_ei
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一、引言与热规相比,冷规不仅作压强测量,还可作快速控制。在高能物理、空间技术等方面更显出优越性。但是,冷规在超高真空运用时的激发是个难题。J.R.Young和F.P.Heszion用灯丝提供初始电子的方法使测量下限延至10~(-9)Pa,Redhead提出了正反磁控式冷 I. Introduction Compared with the heat regulation, cold gauge not only for pressure measurement, but also for rapid control. In the high-energy physics, space technology and more shows the superiority. However, the cold regulation in the use of ultra-high vacuum excitation is a problem. J.R. Young and F.P.Heszion use the filament to provide the initial electron method so that the lower limit of measurement is extended to 10 ~ (-9) Pa. Redhead proposed forward and reverse magnetron-controlled cooling
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