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改善AES/XPS深度剖析的一种方法:减小电子平均自由程对深度剖析的影响

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：csdn99

【摘 要】

：

AES/XPS结合离子刻蚀得到的深度剖析曲线在薄膜分析中十分有用.但由于AES/XPS信号来自表面3～5个电子平均自由程内所有原子的贡献,因此如果薄膜很薄,那么测到的深度剖析曲线并

【作 者】

：

季振国 郭伟民 

【机 构】

：

浙江大学硅材料国家重点实验室,香港中文大学化学系

【出 处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

俄歇电子谱 X光电子谱 深度剖析 电子平均自由程 

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AES/XPS结合离子刻蚀得到的深度剖析曲线在薄膜分析中十分有用.但由于AES/XPS信号来自表面3～5个电子平均自由程内所有原子的贡献,因此如果薄膜很薄,那么测到的深度剖析曲线并不能反映实际的浓度随深度的变化.本文通过简单的数学运算,基本消除了由于电子平均自由程对深度剖析曲线的影响,从而得到很好的浓度随深度变化的曲线.

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