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主要叙述了在金刚石镀膜装置中，利用平行马赫探针测量了沉积室中的等离子体漂移速度，采用了Ｈｕｔｃｈｉｎｓｏｎ的流体力学模型分析了数据。测得马赫数Ｍ为０．０８６，电子温度Ｔｅ为５ｅＶ，等离子体漂移速度约为２９７ｍ／ｓ。在金刚石镀膜的研究中，平行马赫探针为进一步研究沉积金刚石膜的速度和质量与等离子体漂移速度的关系提供了比较好的手段。