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ZC36微电流测试仪测量非晶硅有效隙态密度
ZC36微电流测试仪测量非晶硅有效隙态密度
来源 :湖南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:upskycx
【摘 要】
:
首次报告了用国产的廉价的ZC36型微电流测试仪测量非晶硅有效隙密度的原理和结果,其结果与美国生产的昂贵的4061A型半导综合测试仪测量结果相一致。
【作 者】
:
唐元洪
【机 构】
:
湖南大学应用物理系
【出 处】
:
湖南大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
非晶硅
隙态密度
半导体
微电流测试仪
amorphous silicon
measurement equipment
gap state densit
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首次报告了用国产的廉价的ZC36型微电流测试仪测量非晶硅有效隙密度的原理和结果,其结果与美国生产的昂贵的4061A型半导综合测试仪测量结果相一致。
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