温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器

来源 :声学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：satan0wei

【摘要】

：

0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是,现代的工

【作者】

：

蒋国珠张辉刘朝群张淑仪范理

【机构】

：

南京大学声学研究所

【出处】

：

声学技术

【发表日期】

：

2013年S1期

【关键词】

：

温度补偿石英晶体传感器压电薄膜通讯领域高分辨率探测领域传感器件膜体氮化铝补偿层

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是,现代的工艺能让FBAR设计得很薄(【1μm),更薄的FBAR能得到更高的共振频率(】1 GHz)从而得到更高的传感灵敏度[2-3]。相关研究表明,基于氮化铝和氧化锌压电薄膜的

其他文献

乘法分配律教学片段

师：同学们，刚刚我们观察了算式，发现了规律，验证并总结了规律，下面来看看你们课前测的情况。（出示课前测各小题错误率情况。）

期刊

乘法分配律教学片段错误率规律课前同学算式

简析胡桃楸的栽培技术

胡桃楸是一种落叶乔木,树高可达20余米,主要分布在我国的东北地区。其具有生长迅速、耐寒的特点,可耐零下40咒左右的严寒。天然的胡桃楸林可在20年结实,每年的8-9月份果实成

期刊

栽培技术胡桃楸木材材质通直树高宽卵形绿化环境草坪

畜牧养殖中动物疾病病因及控防

随着我国近年来经济的不断发展,现代人群的生活水平有明显提高,而在这种背景下,畜牧养殖产品的需求量在市场上也随之增大。虽然我国畜牧养殖产业的规模在逐渐扩大,但也受到了

期刊

畜牧养殖动物疾病疾病防控现代人群畜牧业养殖简要分析

关注中小学校园欺凌

中小学校园欺凌事件的接连发生,让我们看到这样一个事实：当社会规则失范,父母教育失位,校园的教育程度、管理强度不够时,种种可以教育未成年人道德内化的途径失效,个人的思想

期刊

小学校园父母教育个人行为社会规则教育程度道德内化未成年人思想动态

益气活血化瘀通络法治疗慢性心力衰竭的临床观察

目的观察中医药益气活血、化瘀通络法治疗慢性心力衰竭（CHF）的临床疗效。方法选择136例慢性心力衰竭患者,随机分为治疗组68例、对照组68例。对照组采用西医基础治疗,治疗组在此

期刊

益气活血、化瘀通络法慢性心力衰竭心功能中医证候积分脑钠肽

薄壁固定卡爪冲裁工艺分析与模具设计

介绍了薄壁件冲裁模的设计方法及模具特点，对薄壁件冲裁模的设计方案进行了分析、比较，阐述了采用复合模进行冲裁的合理性，对设计各种薄壁件冲裁模的设计者和模具生产厂家可起到

期刊

薄壁件冲裁模模具设计thin-wall part blanking die die design

汽车覆盖件面畸变评价指标建立及试验验证

汽车覆盖件现有的面畸变评价指标均有一定的局限性,难以满足工程实践和理论研究的要求.本文分类统计了汽车覆盖件常见的面畸变分布及一般评价方法,提出了一种新的面畸变评价

期刊

机械制造评价指标面畸变汽车覆盖件Machinery manufacture Evaluation criterion Surface deflect

椎管内肿瘤误诊为腰椎间盘突出症临床分析

目的探讨椎管内肿瘤的临床特点,分析误诊原因,总结防范误诊措施,以提高临床医师的诊治水平。方法回顾性分析椎管内肿瘤误诊为腰椎间盘突出症2例的临床资料。结果1例因腰痛伴

期刊

肿瘤椎管甲状腺肿瘤肿瘤转移误诊椎间盘移位NeoplasmsSpinal canalThyroid neoplasmsNeoplasm metasta

延伸护理对股骨颈骨折患者内固定术预后的影响分析

目的探讨延伸护理对股骨颈骨折患者内固定术预后的影响。方法按照随机数字表法将2015年1月-2016年8月30例股骨颈骨折患者分组。对照组出院前进行常规教育和指导,观察组在对照

期刊

延伸护理股骨颈骨折患者内固定术预后影响

等效温度法预紧温度差的计算方法

介绍了ANSYS有限元分析中等效温度法的预紧原理；推导了预紧力与温度差之间的线性关系，并通过简单模型的有限元分析对该关系进行了验证。给出了联接件和被联接件的刚度比已知与

期刊

机械制造预紧计算联接有限元ANSYS Pre-tensional Effective equivalent temperature method

温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器

与本文相关的学术论文