ZDB-150型闭循环氦致冷机低温泵的实验研究

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低温抽气是超高真空获得技术的新方法,它具有抽速大、工作压强范围宽、效率高、清洁无污染等特点。本文介绍了ZDB—150型低温泵的设计原理和实际结构。在实验的基础上,得出了泵的主要性能指标,并对实验结果进行了讨论。同时,就该泵的主要性能与国外同类产品进行了比较。 Low-temperature pumping is a new method for obtaining high-vacuum technology. It has the characteristics of large pumping speed, wide working pressure range, high efficiency, clean and pollution-free. This article describes the design principle and the actual structure of the ZDB-150 cryogenic pump. Based on the experiment, the main performance indexes of the pump are obtained, and the experimental results are discussed. At the same time, the main performance of the pump with similar foreign products were compared.
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