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将微直线电机宏动机构与双晶片压电悬梁微动机构结合,研制高精度、大范围的组合式微夹持器.针对宏微结合的结构形式,设计组合式微夹持器宏微控制系统.采用仿人智能PI控制方法,提高了控制精度.测试实验表明,闭环控制系统取得较好效果.
组合式微夹持器控制系统的研制
【摘 要】
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将微直线电机宏动机构与双晶片压电悬梁微动机构结合,研制高精度、大范围的组合式微夹持器.针对宏微结合的结构形式,设计组合式微夹持器宏微控制系统.采用仿人智能PI控制方法
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2005年2期
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