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用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制
用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制
来源 :浙江大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:l77500
【摘 要】
:
陶瓷环高阻膜作为简镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大影响,本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定和温度
【作 者】
:
毛祖遂
魏赛珍
等
【机 构】
:
浙江大学物理系,浙江大学物理系
【出 处】
:
浙江大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1992年6期
【关键词】
:
分析器
陶瓷环
高阻膜
筒镜分析器
analyzer
ceramic disc
high resistance film
【基金项目】
:
浙江省自然科学基金
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陶瓷环高阻膜作为简镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大影响,本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定和温度稳定的高阻膜,经测试性能良好,并已实用于俄歇电子谱仪中。
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