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期刊论文
磁控溅射机离子电源的双重作用
磁控溅射机离子电源的双重作用
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xianzhiwangsu
【摘 要】
:
概述了磁控溅射机离子电源的正极——电子捕集器的双重作用:除了捕集逃逸电子外,还具有增加膜层中氧化物成分的作用。
【作 者】
:
梁贵军
【机 构】
:
石家庄市无线电三厂
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
磁控溅射机
离子电源
电子捕集器
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概述了磁控溅射机离子电源的正极——电子捕集器的双重作用:除了捕集逃逸电子外,还具有增加膜层中氧化物成分的作用。
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