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本文提出了一种模糊－非线性积分调节器，采用具有38．1°相位不事后的非线性积分器，以提高系统的瞬态响应性能，消除稳态误差，并将它用于扫描电镜的控制问题，仿真结果表明，这一方法得到了较好的效是要。
扫描电镜的模糊--非线性积分控制
【摘 要】
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本文提出了一种模糊－非线性积分调节器，采用具有38．1°相位不事后的非线性积分器，以提高系统的瞬态响应性能，消除稳态误差，并将它用于扫描电镜的控制问题，仿真结果表明，这一方法
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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黑龙江自动化技术与应用
【发表日期】
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1999年3期
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