四氯化硅氢化关键反应的密度泛函理论模拟研究

来源 :石河子大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:A13573338539
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本文利用Gaussian软件对四氯化硅氢化过程中的关键反应进行了理论研究,相关计算均通过密度泛函理论并采用B3LYP/6-311+G(2d,p)基组和方法进行.模拟结果表明该过程所涉及的反应遵循自由基链式机理;对各基元反应能量变化以及活化能进行比较,发现该过程的链引发为热致SiCl4分子均相分解为SiCl3自由基和Cl原子.SiCl3自由基引导并维持后续的链式扩展过程,随后经历自由基和原子间的终止反应,生成SiHCl3、SiH2 Cl2、SiH3 Cl和SiH4等目标产物.
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