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文章介绍了谐振梁压力传感器的气密封装技术,全面分析了影响气密封装的各种因素,提出了相应的解决方法.
谐振梁压力传感器的气密封装技术
【摘 要】
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文章介绍了谐振梁压力传感器的气密封装技术,全面分析了影响气密封装的各种因素,提出了相应的解决方法.
【机 构】
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模拟集成电路国家重点实验室／／中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2005年2期
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