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我国研制成功300亳米多线切割机
我国研制成功300亳米多线切割机
来源 :军民两用技术与产品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kaless
【摘 要】
:
由中国电子科技集团公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一的“300毫米硅材料多线切割机”研制成功.打破了国内生产线上运行的12英
【出 处】
:
军民两用技术与产品
【发表日期】
:
2011年2期
【关键词】
:
线切割机
中国电子科技集团公司
大规模集成电路
进口设备
成套工艺
制造装备
生产线
硅材料
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由中国电子科技集团公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一的“300毫米硅材料多线切割机”研制成功.打破了国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备的现状.
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