SOI单晶硅压力传感器模拟计算与优化设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 8次 | 上传用户：wisdomroc

【摘要】

：

利用有限元分析方法、借助 ANSYS软件 ,对 SOI单晶硅压力传感器进行一系列的分析和计算机模拟 ,探讨了传感器应变膜在固定宽度或固定面积条件下、宽长比对理论输出的影响 ,以及应变膜厚度对理论输出的影响 ,给出了设计应变膜的优化方案 ;并对根据模拟结果首次制作的 SOI单晶硅压力传感器进行了测量 ,结果与理论值符合得较好

【作者】

：

倪智琪姚素英张生才赵毅强张为张维新

【机构】

：

天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院,天津大学电子信息工程学院天津300072,天津300072,天津30

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2003年01期

【关键词】

：

硅压力传感器 ANSYS 相对误差膜厚比宽长比

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