强激光辐照半导体材料的温升及热应力损伤的理论研究

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分别采用数值方法与解析方法 ,研究了连续波激光辐照半导体材料时产生的温升及热应力 .讨论了不同激光参数 强度、波形、波长及脉冲持续时间 与温度及热应力之间的关系 ,以及造成半导体材料热应力损伤的激光阈值强度 . Numerical and analytical methods were used to study the temperature rise and thermal stress induced by continuous wave laser irradiation on semiconductor materials.The relationship among the intensity, waveform, wavelength and pulse duration of different laser parameters and temperature and thermal stress were discussed, And the laser threshold intensity that causes damage to the thermal stress of the semiconductor material.
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