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微电子机械系统技术作为新时代发展全面推广的新兴技术,在影响人们日常生活的同时,得到了各个领域发展的认可.本文以现阶段行业发展情况为基础,明确微电子机械系统技术应用特点,分析微电子机械系统技术与应用实践,以期为微型化机械装置发展提供有效依据.
微电子机械系统技术与应用实践微探
【摘 要】
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微电子机械系统技术作为新时代发展全面推广的新兴技术,在影响人们日常生活的同时,得到了各个领域发展的认可.本文以现阶段行业发展情况为基础,明确微电子机械系统技术应用特
【机 构】
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山东大学微电子学院
【出 处】
：
消费导刊
【发表日期】
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2019年41期
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