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随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求越来越多,本文介绍了靶材的发展概况、分类和应用情况,以及靶材的特性要求.探讨Ni-Cr合金靶材的制备工艺,结果表明,产品能满足靶材特性要求.
溅射靶材的应用及制备初探
【摘 要】
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随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求越来越多,本文介绍了靶材的发展概况、分类和应用情况,以及靶材的特性要求.探讨Ni-Cr合金靶材的制备工艺,结果表明,产
【机 构】
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广东省钢铁研究所
【出 处】
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南方金属
【发表日期】
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2003年6期
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