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近日，由中吴光明化工研究设计院有限公司等6家国内电子气体从业单位共同承担的国家重大专项高纯电子气体研发与产业化项目日前正式启动。
高纯电子气体重大专项启动
【摘 要】
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近日，由中吴光明化工研究设计院有限公司等6家国内电子气体从业单位共同承担的国家重大专项高纯电子气体研发与产业化项目日前正式启动。
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2013年2期
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