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为了制备偏振不灵敏的半导体光放大器(SOA),将有源区设计为由4个压应变、3个张应变阱层及晶格匹配的垒层InGaAsP交替组合而成的应变补偿结构。器件做成带有倾角的扇形脊形波导结构,避免了常规制作SOA的复杂工艺。对样品3在80~125mA电流范围内,获得了偏振灵敏度≤0.6dB.最小可达0.1dB;较大的电流范围内FWHM值为40nm。