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系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在优化沉积参数的条件下制备非晶硅，其稳定性有很大改进
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究
【摘 要】
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系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在
【机 构】
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中国科技大学研究生院物理系
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1997年03期
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