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期刊论文
MEMS微通道流动压力试验关联式仿真及修正
MEMS微通道流动压力试验关联式仿真及修正
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heermeisi
【摘 要】
:
针对宏观流体理论计算MEMS微流体运动的结果与试验不一致问题,提出一种工程实用的微流体压力计算的修正方法.通过引入当量粘度系数,对微流体的流动压力进行修正,并仿真出了当
【作 者】
:
刘焕玲
贾建援
邵晓东
田文超
【机 构】
:
西安电子科技大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
微流体
微通道
流动压力
当量粘度系数
MEMS
micro-fluids
micro-channel
fluid pressure
equivalent
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针对宏观流体理论计算MEMS微流体运动的结果与试验不一致问题,提出一种工程实用的微流体压力计算的修正方法.通过引入当量粘度系数,对微流体的流动压力进行修正,并仿真出了当量粘度系数曲线及获取途径,为微流体的分析提供了理论指导.
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