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针对宏观流体理论计算MEMS微流体运动的结果与试验不一致问题,提出一种工程实用的微流体压力计算的修正方法.通过引入当量粘度系数,对微流体的流动压力进行修正,并仿真出了当量粘度系数曲线及获取途径,为微流体的分析提供了理论指导.
MEMS微通道流动压力试验关联式仿真及修正
【摘 要】
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针对宏观流体理论计算MEMS微流体运动的结果与试验不一致问题,提出一种工程实用的微流体压力计算的修正方法.通过引入当量粘度系数,对微流体的流动压力进行修正,并仿真出了当
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年10期
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