采用分子动力学方法和混合的Finnis-Sinclain势得到了Cu6团簇的最稳定结构——正八面体结构. 模拟了此结构的Cu6团簇在入射能量(Ein)范围为0～30eV/原子下与Cu(001)和Au(001)表面皮秒(ps)级时间内的相互作用. 计算结果表明在此能量范围内，由于荷能团簇原子与表面的相互作用，团簇原子由原来的正八面体Cu6结构演变为fcc结构沉积在衬底表面. 随着Ein的增加，团簇原子的穿透深度及与表面原子的交换增加. 到能量增加至一阈值，衬底表面观察到空位及间隙子损伤. 与Cu表面相比，Cu6在Au表面的损伤阈能略高. 得出团簇原子在表面的再构是在很短的时间(ps量级)内发生，在该时间范围级联碰撞对团簇再构起主要作用. 本工作支持相关的实验结果，低能团簇束沉积(LECBD)有利于纳米表面的形成，进而改变团簇沉积能量，可控制表面纳米薄膜的结构.