利用W掩膜进行GaN外延生长

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Rainwave

【作者】

：

重木

【出处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1999年2期

【关键词】

：

W掩膜氮化镓外延生长

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