论文部分内容阅读
日本熊本大学(Kumamoto University)工程系Junji Watanabe教授和他的同事在一种硅基材上沉积出一个菱形图案薄膜。这种均一的覆盖了菱形图案的基材有许多潜在用途,例如显微机械加工工具、探针和波导等。这一新技术与现有的方法相比,对基材损害更小,并且能够形成多种确定的图案。该技术也可以用在除硅外的其他基材上,如玻璃和陶瓷。