【摘 要】
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针对LPCVD法制备TiO2纳米薄膜过程中物效和能效低的特点,主要考虑沉积压力、沉积温度和物料的流量3个因素。研究了不同的工艺参数在沉积一定时间后的物效、能效计算和分析方
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针对LPCVD法制备TiO2纳米薄膜过程中物效和能效低的特点,主要考虑沉积压力、沉积温度和物料的流量3个因素。研究了不同的工艺参数在沉积一定时间后的物效、能效计算和分析方法。结果显示,在一定的范围内,压力的提高能够有效提高物效和能效;随着温度的升高,物效提高而能效先降低后提高;物料的流量越大物效越低,而能效先升高后降低。当工艺参数400Pa,723K,2.67×10^-6m^3/s时物效最高（6.395%）;当工艺参数为600Pa,723K,3.33×10^-6m^3/s时能效达到最高
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