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提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法。首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子，随后在氮气中退火到900℃，从而制备了氮掺杂的玻璃基TiO2薄膜。SRIM2006程序模拟和卢瑟福背散射谱（RBS）研究表明注入离子从样品表面开始呈高斯分布，实验结果和模拟结果吻合很好。X射线光电子能谱（XPS）研究结果表明注入态样品中形成了金属Ti和TiO2，900℃退火后金属Ti转变成TiO2，同时N原子替代少量的晶格O原子形成了O-Ti-N化合物。紫外-可见吸收光谱（UV—Vis）结果显示，当退火温度