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一种非接触光电尺寸检测仪研制
一种非接触光电尺寸检测仪研制
来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caojinhe1118
【摘 要】
:
本文详细论述了非接触光电尺寸检测仪的原理、结构。该检测仪可用于各种材料尺寸,厚度的非接触测量。
【作 者】
:
郑文学
安伟
【机 构】
:
长春光学精密机械学院光学工程系,长春光学精密机械学院光学工程系
【出 处】
:
长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
:
1993年3期
【关键词】
:
非接触测量
传感器
光电尺寸检测仪
制造
non-contact measurament
position sensitive detection
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本文详细论述了非接触光电尺寸检测仪的原理、结构。该检测仪可用于各种材料尺寸,厚度的非接触测量。
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