一种除去三氯氢硅中磷杂质的新方法

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文章对比了目前国内外氯硅烷除磷的主要方式;描述了一种新型除磷络合剂的制备方法;研究了该络合剂对三氯氢硅中的磷杂质的吸附效果。实验结果表明,使用该络合剂除去三氯氢硅中的磷耗时短,约1~10分钟:除磷效果高,可达95%以上。
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