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电涡流传感器因非接触测量、抗干扰力强等优点在生产中得到了广泛地应用，但其精度很难到达几个微米。根据精度分析理论，采用误差修正技术，提出“最小区间数”与“最大区间段”的工作区间优选原则，确定电涡流传感器的最佳工作区间，以提高传感器测量精度。应用该方法对商业电涡流传感器进行了精度标定，结果显示，将原有的电涡流传感器±10μm误差提升至最佳工作区间的±4μm精度。